電液脈沖伺服油缸
　　
　　1、概述
　　電液脈沖伺服油缸亦稱電液步進(jìn)缸。常規(guī)位置和速度的數(shù)字控制是用電液步進(jìn)馬達(dá)扭動(dòng)絲杠副拖動(dòng)來完成，但考慮傳動(dòng)部件的間隙及結(jié)構(gòu)柔度會(huì)使控制精度降低。電液脈沖伺服油缸正是為了適應(yīng)中小行程的數(shù)字位置和速度控制而研制的。由于內(nèi)部附加機(jī)械反饋機(jī)構(gòu)故在液壓系統(tǒng)中呈現(xiàn)開環(huán)控制，所以該產(chǎn)品使用簡(jiǎn)單非常方便。
　　
　　一九九0年我們同中科院沈陽機(jī)器人中心為高速步行機(jī)器人配套共同研制高速電液脈沖伺服油缸。其特點(diǎn)是將以往電液脈沖伺服油缸的速度提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，即每個(gè)電脈沖可達(dá)0.1~0.2mm。真正使電液脈沖伺服油缸達(dá)到工業(yè)適用階段。下面是中科院沈陽機(jī)器人中心將電液脈沖伺服油缸應(yīng)用于高速行走機(jī)械人的情況。圖一為電液脈沖伺服油缸脈沖油缸，當(dāng)年即獲zhuanli權(quán)。圖二為"七·五"公關(guān)項(xiàng)目"海蟹號(hào)水下六足步行機(jī)器人"，它可潛深300米，在水底面上行走，它采用有纜方式控制。它上面共安裝有七臺(tái)電液脈沖伺服油缸。它是我國臺(tái)水下六足步行機(jī)器人。、圖三為"海蟹號(hào)水下六足步行機(jī)器人"在1991年第六屆發(fā)明展覽會(huì)上獲得獎(jiǎng)的證書。圖四為"海蟹號(hào)水下六足步行機(jī)器人"在1992年"匹茲堡國際博覽會(huì)"上獲得的金獎(jiǎng)，同時(shí)獲得大會(huì)主席獎(jiǎng)。
　　
　　2、工作原理
　　電液脈沖伺服油缸是由步進(jìn)電機(jī)、三位四通伺服閥、機(jī)械反饋裝置（絲扛副）和油杠組成。當(dāng)步進(jìn)電機(jī)得到一個(gè)脈沖信號(hào)時(shí)其輸出軸旋轉(zhuǎn)1.5或3度角度，伺服閥閥芯帶動(dòng)絲扛同時(shí)旋轉(zhuǎn)，閥芯移動(dòng)并開口換向油缸輸出壓力油，活塞移動(dòng)并帶動(dòng)絲杠反向旋轉(zhuǎn)使閥芯退回原位，伺服閥復(fù)中位停止輸出壓力油。此時(shí)油缸移動(dòng)0.1或0.2mm行程，油缸行進(jìn)的位移量和速度是根據(jù)電脈沖的給定值決定。